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DUV光刻机或被限制 韩方为保护三星、SK海力士中国工厂提出反对

尽管EUV(极紫外光源)光刻机在禁运之列,但DUV(深紫外光源)安全,就在前不久,中芯国际公告称与ASML签署了12亿美元的购买合同,内容就是DUV光刻机。

不过,在闻讯有美政客游说进一步对华禁运DUV光刻机后,韩国半导体工业协会(KSIA)已经开始交涉并提出反对,原因是担心三星、SK海力士在中国的芯片工厂受到牵连,它们对韩国经济也同样重要。

据了解,DUV光刻机目前主要是KrF(氟化氪)、ArF(氟化氩)两种投影式光刻机,此次ArF浸没式光刻机被特别点名,其对10~16nm芯片制造至关重要,价格6亿元人民币左右。

按照对2020年全球光刻机统计的数字,ArF光刻机销量112台、KrF大约130台,销量份额占比分别是27%和31%,合计接近6成。供应商方面,除了ASML,尼康、佳能也都能生产,只是销量远不如ASML。

当然,由于光刻机都难以摆脱美国技术,所以即便ASML总部荷兰,尼康、佳能总部DUV光刻机或被限制 韩方为保护三星、SK海力士中国工厂提出反对

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